TY - BOOK AU - Kienel, Gerhard AU - Behringer, Uwe AU - Bonnet, Dieter TI - Vakuumbeschichtung 4 SN - 3184013146 U1 - 671.735 PY - 1993/// CY - Dusseldorf : PB - VDI Verlag, KW - Vakuumbeschichten N1 - YY; v. 4. Anwendungen Teil 1 Vergleich Der Verwendeten Verfahren Elektrische Widerstandsschichten Supraleitenede Schichten Dunne Schichten Fur Optik Mikroelektronik Optoelektronik Mikromechanik Solarzellen UR - https://eaklibrary.neduet.edu.pk:8443/catalog/bk/books/toc/3-18-401314-6.pdf ER -