Kienel, Gerhard
Vakuumbeschichtung 4
- Dusseldorf : VDI Verlag, c1993
- XI, 383 p. : ill
Includes Bibliographical References and Index
v. 4. Anwendungen Teil 1 Vergleich Der Verwendeten Verfahren Elektrische Widerstandsschichten Supraleitenede Schichten Dunne Schichten Fur Optik Mikroelektronik Optoelektronik Mikromechanik Solarzellen
3184013146
Vakuumbeschichten
671.735 / KIE