TY - BOOK ED - Vdi/Vde Gesellschaft Mess Und Automatisierungstechnik TI - Metrologie in Der Mikro Und Nanotechnik Tagung Stuttgart, 12 Und 13 Februar 2003 SN - 3180916699 U1 - 620.50287 PY - 2003/// CY - Dusseldorf : PB - VDI Verlag GmbH, KW - Mikrosystemtechnik Metrologie Kongresses N1 - NN UR - https://eaklibrary.neduet.edu.pk:8443/catalog/bk/books/toc/3-18-091669-9.pdf ER -