Metrologie in Der Mikro Und Nanotechnik Tagung Stuttgart, 12 Und 13 Februar 2003  

 - Dusseldorf :   VDI Verlag GmbH,   c2003 
 - 202 p.  : ill 
 - Vdi Berichte ; No. 1669 .
<br/><br/>
<br/><br/><label>ISBN: </label>3180916699 
<br/><br/><label>ISSN: </label>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Mikrosystemtechnik Metrologie Kongresses
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>620.50287  / MET